基板传送系统和基板传送系统的使用方法

被引：0

申请号：

CN202180022966.3

申请日：

2021-03-19

公开(公告)号：

CN115315795A

公开(公告)日：

2022-11-08

发明(设计)人：

亚历克斯·伯杰杰弗里·赫金斯埃里克·恩格尔哈特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-08	公开	公开

共 50 条

[1]

基板传送系统和基板传送系统的使用方法 [P].

亚历克斯·伯杰 ;

杰弗里·赫金斯 ;

埃里克·恩格尔哈特 .

美国专利 :CN118299309A ,2024-07-05

[2]

基板传送系统和基板传送系统的使用方法 [P].

亚历克斯·伯杰 ;

杰弗里·赫金斯 ;

埃里克·恩格尔哈特 .

美国专利 :CN115315795B ,2024-04-05

[3]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

中国专利 :CN113053797A ,2021-06-29

[4]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

韩国专利 :CN113053797B ,2025-07-11

[5]

用于基板传送系统的阻挡装置和基板传送系统 [P].

于闪闪 ;

高亚东 ;

李晶晶 ;

张红岩 ;

刘桂林 .

中国专利 :CN107082285A ,2017-08-22

[6]

基板处理系统、基板传送装置和传送方法 [P].

雷仲礼 .

中国专利 :CN108666231A ,2018-10-16

[7]

基板传送装置及基板传送系统 [P].

开田准一 .

中国专利 :CN113195170A ,2021-07-30

[8]

基板传送系统及传送方法 [P].

刘纯 ;

潘昶宏 .

中国专利 :CN102320472B ,2012-01-18

[9]

基板传送系统 [P].

崔汉铉 ;

金教承 ;

卢光硕 ;

徐正欢 ;

麴今镐 .

中国专利 :CN105984700A ,2016-10-05

[10]

基板传送系统 [P].

蔡景洙 ;

宋炫昊 .

中国专利 :CN100374911C ,2004-07-21

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