基板传送装置和基板传送装置的组装方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011180209.2

申请日：

2020-10-29

公开(公告)号：

CN112824263B

公开(公告)日：

2021-05-21

发明(设计)人：

朴庸硕朴哲岐

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

B65G1311

IPC分类号：

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

方挺;侯晓艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	公开	公开
2021-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 13/11 申请日:20201029
2022-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

尹基燮 ;

郑智允 .

韩国专利 :CN118107961A ,2024-05-31

[2]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

新井理恵 ;

西部幸伸 ;

加藤峻 ;

二川进治 .

日本专利 :CN118355480A ,2024-07-16

[3]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

丁晟宰 ;

张普舜 .

韩国专利 :CN118692963A ,2024-09-24

[4]

基板传送装置、传送基板的方法 [P].

郑先锋 ;

井杨坤 ;

宋晨 ;

舒文 ;

徐红祥 ;

林强 .

中国专利 :CN106697949B ,2017-05-24

[5]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

中国专利 :CN113053797A ,2021-06-29

[6]

基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统 [P].

卢希锡 ;

崔相壹 ;

全成基 ;

赵俸秀 .

韩国专利 :CN113053797B ,2025-07-11

[7]

基板传送手和包括基板传送手的基板传送装置 [P].

古田诚 ;

仲子透 ;

山崎哲也 .

中国专利 :CN102832156A ,2012-12-19

[8]

基板传送装置及基板传送方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105417164B ,2016-03-23

[9]

基板传送装置 [P].

郑准模 .

中国专利 :CN1775641A ,2006-05-24

[10]

基板处理系统、基板传送装置和传送方法 [P].

雷仲礼 .

中国专利 :CN108666231A ,2018-10-16

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