基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710324733.4

申请日：

2017-05-10

公开(公告)号：

CN106976693B

公开(公告)日：

2017-07-25

发明(设计)人：

李健李晶晶刘浏李朝阳陈巍高亚东任立志

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

B65G3500

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

郭润湘

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-08	授权	授权
2017-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101742559853 IPC(主分类):B65G 35/00 专利申请号:2017103247334 申请日:20170510
2017-07-25	公开	公开

共 50 条

[1]

基板传送装置及其传送方法 [P].

齐乐 ;

孙富元 ;

李龙 ;

张进 ;

韩云龙 ;

徐东升 ;

曹斌 .

中国专利 :CN105600449B ,2016-05-25

[2]

基板传送设备、基板处理设备和基板传送方法 [P].

韩基元 ;

崔炳斗 .

中国专利 :CN114078725A ,2022-02-22

[3]

基板传送设备 [P].

栗田真一 ;

北村典彦 ;

罗宾·L·蒂纳 ;

潘玉赫 ;

乌贾瓦尔·库马尔·加哈 .

中国专利 :CN110114864A ,2019-08-09

[4]

基板传送装置、传送基板的方法 [P].

郑先锋 ;

井杨坤 ;

宋晨 ;

舒文 ;

徐红祥 ;

林强 .

中国专利 :CN106697949B ,2017-05-24

[5]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

尹基燮 ;

郑智允 .

韩国专利 :CN118107961A ,2024-05-31

[6]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

新井理恵 ;

西部幸伸 ;

加藤峻 ;

二川进治 .

日本专利 :CN118355480A ,2024-07-16

[7]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

丁晟宰 ;

张普舜 .

韩国专利 :CN118692963A ,2024-09-24

[8]

基板传送装置及基板传送方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105417164B ,2016-03-23

[9]

基板传送装置 [P].

须山敏明 ;

川原慎 ;

山崎胜 ;

六川贵博 .

中国专利 :CN1939816A ,2007-04-04

[10]

基板传送设备及基板定位方法 [P].

侯志坤 .

中国专利 :CN115692288A ,2023-02-03

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