异物检查装置和异物检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011104108.7

申请日：

2020-10-15

公开(公告)号：

CN112666175A

公开(公告)日：

2021-04-16

发明(设计)人：

饭野正义中野裕已矢泽康弘前田浩平中岛大辅

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01N2194

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

宋岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/94 申请日:20201015
2021-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

异物检查装置以及异物检查方法 [P].

加集功士 .

中国专利 :CN110333255A ,2019-10-15

[2]

异物检查装置及异物检查方法 [P].

佐野荣一 ;

中村瑞树 .

日本专利 :CN113490844B ,2024-08-16

[3]

异物检查装置以及异物检查方法 [P].

福田裕久 ;

浅野国隆 ;

片根忠弘 ;

山崎浩美 .

中国专利 :CN102918382A ,2013-02-06

[4]

异物检查装置以及异物检查方法 [P].

加集功士 .

中国专利 :CN110333256A ,2019-10-15

[5]

异物检查装置及异物检查方法 [P].

佐野荣一 ;

中村瑞树 .

中国专利 :CN112236671A ,2021-01-15

[6]

异物检查方法以及异物检查装置 [P].

木村树 ;

浅田竜幸 ;

小池良树 .

日本专利 :CN113030092B ,2024-04-05

[7]

异物检查装置及异物检查方法 [P].

佐野荣一 ;

中村瑞树 .

日本专利 :CN112262313B ,2024-08-16

[8]

异物检查装置及异物检查方法 [P].

铃木芳邦 ;

今田将博 ;

稻垣真次 ;

村濑胜己 .

中国专利 :CN102539436A ,2012-07-04

[9]

异物检查装置以及异物检查方法 [P].

光江丰彰 ;

泽崎富男 ;

金山知惠子 .

中国专利 :CN109521493B ,2019-03-26

[10]

异物检查装置及异物检查方法 [P].

佐野荣一 ;

中村瑞树 .

日本专利 :CN112236671B ,2024-08-13

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