化学增幅正性抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910160590.3

申请日：

2009-08-04

公开(公告)号：

CN101644895A

公开(公告)日：

2010-02-10

发明(设计)人：

嶋田雅彦桥本和彦山口训史金淳信高田佳幸平冈崇志

申请人：

申请人地址：

日本国东京都中央区新川2丁目27番1号

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

上海市华诚律师事务所

代理人：

徐申民;涂勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101109525647 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2009101605903 申请日:20090804
2013-05-08	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101449332980 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2009101605903 放弃生效日:20100210
2010-02-10	公开	公开

共 50 条

[1]

化学增幅正性抗蚀剂组合物 [P].

嶋田雅彦 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101644894A ,2010-02-10

[2]

化学增幅正性抗蚀剂组合物 [P].

宫川贵行 ;

山本敏 ;

藤裕介 .

中国专利 :CN101770173A ,2010-07-07

[3]

化学增幅型正性抗蚀剂组合物 [P].

中西润次 ;

难波克彦 .

中国专利 :CN1424625A ,2003-06-18

[4]

一种化学增幅型正性抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

李荣濬 ;

落合钢志郎 .

中国专利 :CN1499296A ,2004-05-26

[5]

化学增幅型正性抗蚀剂合成物 [P].

安藤信雄 ;

森马洋 ;

荒木香 ;

末次益实 .

中国专利 :CN1497344A ,2004-05-19

[6]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566798A ,2009-10-28

[7]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566797A ,2009-10-28

[8]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

釜渊明 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101581882A ,2009-11-18

[9]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

秋田诚 ;

吉田勋 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101329511B ,2008-12-24

[10]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

重松淳二 ;

枝松邦茂 ;

宫川贵行 ;

釜渊明 .

中国专利 :CN101614958A ,2009-12-30

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