化学增幅型正性抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02154063.2

申请日：

2002-12-09

公开(公告)号：

CN1424625A

公开(公告)日：

2003-06-18

发明(设计)人：

中西润次难波克彦

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101597014057 IPC(主分类):G03F 7/039 专利号:ZL021540632 申请日:20021209 授权公告日:20080206 终止日期:20131209
2008-02-06	授权	授权
2003-06-18	公开	公开
2004-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

化学增幅正性抗蚀剂组合物 [P].

嶋田雅彦 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101644894A ,2010-02-10

[2]

化学增幅正性抗蚀剂组合物 [P].

嶋田雅彦 ;

桥本和彦 ;

山口训史 ;

金淳信 ;

高田佳幸 ;

平冈崇志 .

中国专利 :CN101644895A ,2010-02-10

[3]

化学增幅正性抗蚀剂组合物 [P].

宫川贵行 ;

山本敏 ;

藤裕介 .

中国专利 :CN101770173A ,2010-07-07

[4]

化学增幅型正性抗蚀剂合成物 [P].

安藤信雄 ;

森马洋 ;

荒木香 ;

末次益实 .

中国专利 :CN1497344A ,2004-05-19

[5]

一种化学增幅型正性抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

李荣濬 ;

落合钢志郎 .

中国专利 :CN1499296A ,2004-05-26

[6]

化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物 [P].

宫城贤 ;

馆俊聪 ;

丸山健治 ;

高木勇 .

中国专利 :CN1680875B ,2005-10-12

[7]

化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物 [P].

宫城贤 ;

馆俊聪 ;

新仓聪 .

中国专利 :CN1690856A ,2005-11-02

[8]

化学增幅型正型抗蚀剂组合物和图案形成方法 [P].

平野祯典 ;

浅井聪 ;

竹村胜也 .

中国专利 :CN106444288A ,2017-02-22

[9]

化学增幅型正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法 [P].

小竹正晃 ;

增永惠一 ;

渡边聪 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN108255019A ,2018-07-06

[10]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120522977A ,2025-08-22

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