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等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010849988.4
申请日：
2020-08-21
公开(公告)号：
CN112447479A
公开(公告)日：
2021-03-05
发明(设计)人：
北邨友志
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200821 |
| 2021-03-05 | 公开 | 公开 |