金属超薄膜、金属超薄膜叠层体以及金属超薄膜和金属超薄膜叠层体的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN02810106.5
申请日
2002-03-15
公开(公告)号
CN1511199A
公开(公告)日
2004-07-07
发明(设计)人
村田好正
申请人
申请人地址
日本大阪府大阪市
IPC主分类号
C30B2902
IPC分类号
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
钟守期;庞立志
法律状态
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
国省代码
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共 50 条
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