选择性蚀刻金属氮化物的组合物及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510644253.7

申请日：

2011-10-06

公开(公告)号：

CN105304485A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

陈天牛尼科勒·E·托马斯斯蒂芬·里皮杰弗里·A·巴内斯埃马纽尔·I·库珀张鹏

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L213213

IPC分类号：

H01L218238

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

刘慧;杨青

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	授权	授权
2016-02-03	公开	公开
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649091649 IPC(主分类):H01L 21/3213 专利申请号:2015106442537 申请日:20111006
2017-01-11	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744736472 IPC(主分类):H01L 21/3213 专利申请号:2015106442537 变更事项:申请人变更前:安格斯公司变更后:恩特格里斯公司变更事项:地址变更前:美国马萨诸塞州变更后:美国马萨诸塞州

共 50 条

[1]

选择性蚀刻金属氮化物的组合物及方法 [P].

陈天牛 ;

尼科勒·E·托马斯 ;

斯蒂芬·里皮 ;

杰弗里·A·巴内斯 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

张鹏 .

中国专利 :CN103154321A ,2013-06-12

[2]

金属氮化物的选择性湿蚀刻 [P].

威廉·A·沃伊特恰克 ;

迪安·德维尔夫 .

中国专利 :CN101248516A ,2008-08-20

[3]

选择性氮化物蚀刻 [P].

伊凡·L·贝瑞三世 ;

伊夫兰·安格洛夫 ;

琳达·马克斯 ;

费萨尔·雅各布 ;

皮利翁·帕克 ;

海伦·H·朱 ;

贝尤·阿特马加·西德乔伊斯沃罗 ;

李昭 .

中国专利 :CN105719949A ,2016-06-29

[4]

金属氮化物膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

朴贤雨 ;

南硕泫 ;

李明镐 ;

宋明根 .

中国专利 :CN115433581A ,2022-12-06

[5]

选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

埃马纽尔·I·库珀 ;

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105492576A ,2016-04-13

[6]

高选择性氮化物蚀刻工艺 [P].

J·B·张 ;

S·U·恩格尔曼 ;

N·C·M·富勒 ;

M·A·古罗恩 ;

中村昌洋 .

中国专利 :CN103890918A ,2014-06-25

[7]

过渡金属氮化物材料的选择性移除 [P].

王柏玮 ;

X·C·陈 ;

R·P·雷迪 ;

O·贾恩 ;

崔振江 ;

王安川 .

美国专利 :CN117597769A ,2024-02-23

[8]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN105683336A ,2016-06-15

[9]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

宋凌雁 .

中国专利 :CN111394100A ,2020-07-10

[10]

用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

陈丽敏 ;

埃马纽尔·I·库珀 ;

斯蒂芬·里皮 ;

宋凌雁 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105102584B ,2015-11-25

← 1 2 3 4 5 →