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金属氮化物膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法

被引：0
申请号：
CN202210578744.6
申请日：
2022-05-25
公开(公告)号：
CN115433581A
公开(公告)日：
2022-12-06
发明(设计)人：
朴贤雨 南硕泫 李明镐 宋明根
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
C09K1310
IPC分类号：
H01L213213
代理机构：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444
代理人：
刘晔;葛强
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-06 公开 公开
共 50 条
[1]
选择性蚀刻金属氮化物的组合物及方法 [P]. 
陈天牛 ;
尼科勒·E·托马斯 ;
斯蒂芬·里皮 ;
杰弗里·A·巴内斯 ;
埃马纽尔·I·库珀 ;
张鹏 .
中国专利 :CN105304485A ,2016-02-03
[2]
选择性蚀刻金属氮化物的组合物及方法 [P]. 
陈天牛 ;
尼科勒·E·托马斯 ;
斯蒂芬·里皮 ;
杰弗里·A·巴内斯 ;
埃马纽尔·I·库珀 ;
张鹏 .
中国专利 :CN103154321A ,2013-06-12
[3]
金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
朴相承 ;
金益儁 ;
金希泰 ;
李宝研 ;
金世训 .
中国专利 :CN111621785A ,2020-09-04
[4]
金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
朴相承 ;
金益儁 ;
金希泰 ;
李宝研 ;
金世训 .
韩国专利 :CN111621785B ,2024-07-19
[5]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
柳灏成 ;
李浚银 ;
张平和 ;
金容逸 ;
朴镇 .
中国专利 :CN109207151B ,2019-01-15
[6]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
李明翰 ;
案缟源 ;
李龙儁 ;
池祥源 ;
朴锺模 ;
金世训 .
韩国专利 :CN111719157B ,2024-06-07
[7]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
李明翰 ;
案缟源 ;
李龙儁 ;
池祥源 ;
朴锺模 ;
金世训 .
中国专利 :CN111719157A ,2020-09-29
[8]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
柳灏成 ;
金铉峻 ;
白珍珠 ;
李浚银 ;
全贤善 .
中国专利 :CN110028971A ,2019-07-19
[9]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
李明翰 ;
案缟源 ;
李龙儁 ;
池祥源 ;
朴锺模 ;
金世训 .
中国专利 :CN111719156A ,2020-09-29
[10]
蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P]. 
李明翰 ;
案缟源 ;
李龙儁 ;
池祥源 ;
朴锺模 ;
金世训 .
韩国专利 :CN120006292A ,2025-05-16
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