蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510114911.5

申请日：

2020-03-13

公开(公告)号：

CN120006292A

公开(公告)日：

2025-05-16

发明(设计)人：

李明翰案缟源李龙儁池祥源朴锺模金世训

申请人：

易安爱富科技有限公司

申请人地址：

韩国

IPC主分类号：

C23F1/18

IPC分类号：

C23F1/26 C23F1/30 H01L21/306

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

蔡胜有;赵菲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/18申请日:20200313
2025-05-16	公开	公开

共 50 条

[1]

蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

李明翰 ;

案缟源 ;

李龙儁 ;

池祥源 ;

朴锺模 ;

金世训 .

韩国专利 :CN111719157B ,2024-06-07

[2]

蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

李明翰 ;

案缟源 ;

李龙儁 ;

池祥源 ;

朴锺模 ;

金世训 .

中国专利 :CN111719157A ,2020-09-29

[3]

蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

李明翰 ;

案缟源 ;

李龙儁 ;

池祥源 ;

朴锺模 ;

金世训 .

中国专利 :CN111719156A ,2020-09-29

[4]

蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

柳灏成 ;

李浚银 ;

张平和 ;

金容逸 ;

朴镇 .

中国专利 :CN109207151B ,2019-01-15

[5]

蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

柳灏成 ;

金铉峻 ;

白珍珠 ;

李浚银 ;

全贤善 .

中国专利 :CN110028971A ,2019-07-19

[6]

金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

朴相承 ;

金益儁 ;

金希泰 ;

李宝研 ;

金世训 .

中国专利 :CN111621785A ,2020-09-04

[7]

金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

朴相承 ;

金益儁 ;

金希泰 ;

李宝研 ;

金世训 .

韩国专利 :CN111621785B ,2024-07-19

[8]

蚀刻组合物及使用该蚀刻组合物的蚀刻方法 [P].

李惠熹 ;

朴贤宇 ;

李明镐 ;

宋明根 ;

姜弼求 ;

崔胤洵 ;

洪文基 .

中国专利 :CN111849486B ,2020-10-30

[9]

氮化硅膜蚀刻组合物及利用其的方法 [P].

金东铉 ;

朴贤宇 ;

曹长佑 ;

金泰镐 ;

李明护 ;

宋明根 .

中国专利 :CN110872516B ,2020-03-10

[10]

金属氮化物膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法 [P].

朴贤雨 ;

南硕泫 ;

李明镐 ;

宋明根 .

中国专利 :CN115433581A ,2022-12-06

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