蚀刻组合物及使用该蚀刻组合物的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010325267.3

申请日：

2020-04-23

公开(公告)号：

CN111849486B

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

李惠熹朴贤宇李明镐宋明根姜弼求崔胤洵洪文基

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C09K1306

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258

代理人：

魏彦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	公开	公开
2021-08-27	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C09K 13/06 登记生效日:20210817 变更事项:申请人变更前权利人:易安爱富科技有限公司变更后权利人:易安爱富科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道变更事项:申请人变更后权利人:爱思开海力士有限公司
2022-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/06 申请日:20200423
2021-08-20	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C09K 13/06 变更事项:发明人变更前:李惠熹朴贤宇李明镐宋明根变更后:李惠熹朴贤宇李明镐宋明根姜弼求崔胤洵洪文基
2022-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法 [P].

廖本男 ;

廖伯轩 ;

张善钧 ;

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN105887089B ,2016-08-24

[2]

蚀刻溶液组合物和使用该蚀刻溶液组合物的湿蚀刻方法 [P].

金铉卓 ;

林廷训 ;

李昌一 ;

宋忠植 ;

李珍旭 .

中国专利 :CN104039925A ,2014-09-10

[3]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[4]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

罗致远 ;

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611701A ,2015-05-13

[5]

金属膜蚀刻液组合物及利用了该组合物的蚀刻方法 [P].

李明翰 ;

具炳秀 ;

曹三永 ;

李骐范 .

中国专利 :CN104838040A ,2015-08-12

[6]

蚀刻组合物 [P].

朴相承 ;

金益儁 ;

金世训 .

中国专利 :CN108018557B ,2018-05-11

[7]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

大和田拓央 .

中国专利 :CN109328394A ,2019-02-12

[8]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[9]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

山口隆雄 ;

石川典夫 .

中国专利 :CN103046050A ,2013-04-17

[10]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

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