带电粒子显微镜以及试样拍摄方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680084947.2

申请日：

2016-04-22

公开(公告)号：

CN109075002A

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

庄子美南津野夏规大南祐介

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3718

IPC分类号：

H01J3716 H01J37244

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

曾贤伟;范胜杰

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	授权	授权
2018-12-21	公开	公开
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/18 申请日:20160422
2022-04-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/18 申请日:20160422 授权公告日:20200929 终止日期:20210422

共 50 条

[1]

带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法 [P].

千野肇 ;

绵引胜 ;

岩谷彻 .

中国专利 :CN102668014A ,2012-09-12

[2]

带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法 [P].

常田瑠璃子 ;

菊池秀树 ;

鹿岛秀夫 .

中国专利 :CN104067369B ,2014-09-24

[3]

显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法 [P].

S·比恩 ;

R·罗兰 ;

S·希斯 .

中国专利 :CN102543638B ,2012-07-04

[4]

具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜 [P].

E·弗兰肯 ;

T·瓦斯洛特 ;

B·詹森 .

美国专利 :CN120809561A ,2025-10-17

[5]

扫描带电粒子显微镜图像的高画质化方法和扫描带电粒子显微镜装置 [P].

中平健治 ;

田中麻纪 .

中国专利 :CN105981129A ,2016-09-28

[6]

带电粒子显微镜中的低温试样处理 [P].

J.米特彻斯 ;

T.韦伊斯塔维 ;

M.卡福雷克 .

中国专利 :CN107966464A ,2018-04-27

[7]

用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法 [P].

L.图玛 .

美国专利 :CN111243928B ,2025-07-29

[8]

用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法 [P].

L.图玛 .

中国专利 :CN111243928A ,2020-06-05

[9]

使用带电粒子显微镜检查样品的方法 [P].

T.图玛 ;

J.赫拉迪尔 ;

P.赫拉文卡 .

中国专利 :CN110849926A ,2020-02-28

[10]

使用带电粒子显微镜检查样品的方法 [P].

T.图玛 ;

J.赫拉迪尔 ;

P.赫拉文卡 .

美国专利 :CN110849926B ,2025-02-14

← 1 2 3 4 5 →