在线式电阻率测试系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510366274.7

申请日：

2015-06-29

公开(公告)号：

CN105044463A

公开(公告)日：

2015-11-11

发明(设计)人：

吴晓春张进峰谢尘

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区上大路99号

IPC主分类号：

G01R2702

IPC分类号：

代理机构：

上海上大专利事务所(普通合伙) 31205

代理人：

顾勇华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-11	公开	公开
2018-01-02	授权	授权
2015-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101636476488 IPC(主分类):G01R 27/02 专利申请号:2015103662747 申请日:20150629
2021-08-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 27/02 申请日:20150629 授权公告日:20180102 终止日期:20200629

共 50 条

[1]

硅片在线电阻率测试系统 [P].

朱洪伟 .

中国专利 :CN305919340S ,2020-07-14

[2]

用于电阻率测试的测试箱及电阻率测试系统 [P].

王旭日 ;

刘静 ;

吴江雪 ;

孙洋洋 ;

杨红新 .

中国专利 :CN216747891U ,2022-06-14

[3]

一种电阻率测试系统 [P].

曾令长 .

中国专利 :CN205333692U ,2016-06-22

[4]

电阻率测试夹具 [P].

刁庶 ;

何传玺 ;

淳少恒 .

中国专利 :CN220508979U ,2024-02-20

[5]

薄膜温差电材料电阻率测试系统及方法 [P].

王为 ;

李菲晖 ;

李晋楼 ;

汪洋 .

中国专利 :CN101413972A ,2009-04-22

[6]

井间并行电阻率CT测试系统 [P].

张平松 ;

吴健生 ;

吴荣新 ;

郭立全 ;

胡雄武 .

中国专利 :CN202256701U ,2012-05-30

[7]

硅片真实电阻率的测试方法和电阻率测试设备 [P].

陈鑫洪 ;

宗贝贝 ;

许文理 ;

王永谦 ;

陈刚 .

中国专利 :CN117783671A ,2024-03-29

[8]

一种高性能电阻、电阻率、电导率测试系统 [P].

曾令长 ;

陈余宏 .

中国专利 :CN204028229U ,2014-12-17

[9]

电阻率测试治具 [P].

佐野恭司 .

中国专利 :CN211348428U ,2020-08-25

[10]

电阻率测试装置 [P].

蔡雪松 ;

相唐喜 .

中国专利 :CN216248145U ,2022-04-08

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