纳米尺度的微细图形加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510061917.7

申请日：

2015-02-05

公开(公告)号：

CN104597724A

公开(公告)日：

2015-05-06

发明(设计)人：

王冠亚张凯谢常青李新涛李友张卫红张建宏邵鑫路程牛洁斌张培文刘明龙世兵

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3#

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345

代理人：

陈红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-06	公开	公开
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631740737 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015100619177 申请日:20150205
2017-12-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20150506

共 50 条

[1]

微纳米尺度图形加工方法 [P].

罗先刚 ;

王盛丁 ;

孔维杰 .

中国专利 :CN120308911A ,2025-07-15

[2]

一种纳米尺度图形的制作方法 [P].

赵珉 ;

陈宝钦 ;

刘明 ;

牛洁斌 .

中国专利 :CN101382733A ,2009-03-11

[3]

一种纳米尺度缝隙的制备方法 [P].

王紫东 ;

彭沛 ;

田仲政 ;

宋建宏 ;

任黎明 ;

傅云义 .

中国专利 :CN106904571B ,2017-06-30

[4]

纳米尺度结构 [P].

P.马迪洛维奇 ;

Q.魏 ;

A.M.富勒 .

中国专利 :CN103153845B ,2013-06-12

[5]

纳米尺度FET [P].

R·叙尔迪努 ;

P·阿加瓦尔 ;

A·R·巴尔克宁德 ;

E·P·A·M·巴克斯 .

中国专利 :CN1985378A ,2007-06-20

[6]

具有微纳米尺度刚度图形和曲率图形的基底 [P].

杨生元 .

中国专利 :CN203333670U ,2013-12-11

[7]

纳米尺度展示装置 [P].

霍杨 ;

胡俊 ;

李虹 ;

王伟 ;

郭永霞 .

中国专利 :CN217161602U ,2022-08-12

[8]

一种对纳米尺度元件进行套刻的方法 [P].

谢常青 ;

方磊 ;

朱效立 ;

李冬梅 ;

刘明 .

中国专利 :CN102736432B ,2012-10-17

[9]

纳米尺度金属颗粒的制备 [P].

R·A·默库里 .

中国专利 :CN101300096A ,2008-11-05

[10]

一种在石墨或石墨烯表面加工纳米尺度图形的方法 [P].

赵华波 ;

李佩朔 ;

魏芹芹 ;

魏子钧 ;

张朝晖 ;

傅云义 .

中国专利 :CN102285631B ,2011-12-21

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