微纳米尺度图形加工方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510528709.7
申请日
2025-04-25
公开(公告)号
CN120308911A
公开(公告)日
2025-07-15
发明(设计)人
罗先刚 王盛丁 孔维杰
申请人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流区光电大道1号
IPC主分类号
B81C1/00
IPC分类号
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
李婉婉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
具有微纳米尺度刚度图形和曲率图形的基底 [P]. 
杨生元 .
中国专利 :CN203333670U ,2013-12-11
[2]
纳米尺度的微细图形加工方法 [P]. 
王冠亚 ;
张凯 ;
谢常青 ;
李新涛 ;
李友 ;
张卫红 ;
张建宏 ;
邵鑫 ;
路程 ;
牛洁斌 ;
张培文 ;
刘明 ;
龙世兵 .
中国专利 :CN104597724A ,2015-05-06
[3]
微纳米尺度物体的超声操控系统 [P]. 
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李宁 ;
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[4]
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李艳杰 ;
王怀喜 ;
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[5]
纳米尺度结构 [P]. 
P.马迪洛维奇 ;
Q.魏 ;
A.M.富勒 .
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[6]
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芦洪生 ;
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[7]
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[8]
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张文明 ;
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[9]
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边捷 ;
葛海雄 ;
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陈延峰 .
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[10]
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