等离子体处理设备及其操作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610232603.3

申请日：

2016-04-14

公开(公告)号：

CN107301941A

公开(公告)日：

2017-10-27

发明(设计)人：

赵晋荣刘韶华韦刚彭雨霖杨盟符雅丽

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

沈锦华

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:发明人变更前:赵晋荣刘韶华韦刚彭雨霖杨盟符雅丽变更后:赵晋荣刘韶华韦刚彭宇霖杨盟符雅丽
2017-10-27	公开	公开
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160414

共 50 条

[1]

等离子体处理设备 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN120878527A ,2025-10-31

[2]

等离子体处理设备 [P].

赖展程 ;

杨金全 ;

李存福 .

中国专利 :CN118860029B ,2024-12-17

[3]

等离子体处理设备 [P].

赖展程 ;

杨金全 ;

李存福 .

中国专利 :CN118860029A ,2024-10-29

[4]

等离子体处理设备及其包含等离子体处理设备的等离子体处理系统 [P].

范德宏 ;

左涛涛 .

中国专利 :CN112117176A ,2020-12-22

[5]

一种等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

林英浩 .

中国专利 :CN117894661A ,2024-04-16

[6]

等离子体处理设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

安贤焕 ;

姜赞镐 ;

白晛祐 ;

黄荣周 .

中国专利 :CN1747132A ,2006-03-15

[7]

等离子体处理设备 [P].

朴希侦 .

中国专利 :CN202633209U ,2012-12-26

[8]

等离子体处理设备 [P].

岩井哲博 .

中国专利 :CN101116167A ,2008-01-30

[9]

等离子体约束环、等离子体处理设备及处理半导体的方法 [P].

叶如彬 .

中国专利 :CN115547799A ,2022-12-30

[10]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

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