等离子体处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680004555.7

申请日：

2006-09-07

公开(公告)号：

CN101116167A

公开(公告)日：

2008-01-30

发明(设计)人：

岩井哲博

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

肖鹂

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-30	公开	公开
2009-08-26	授权	授权
2008-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

等离子体处理设备 [P].

金圣烈 .

中国专利 :CN101552183B ,2009-10-07

[2]

等离子体处理设备 [P].

有田洁 ;

中川显 .

中国专利 :CN101151703A ,2008-03-26

[3]

等离子体处理设备 [P].

沈承辅 ;

成德镛 ;

卢泳辰 ;

李镕祐 ;

任志洙 ;

姜泂模 ;

韩丙勳 ;

李天揆 ;

堀口将人 .

中国专利 :CN110323117A ,2019-10-11

[4]

等离子体处理设备 [P].

沈承辅 ;

成德镛 ;

卢泳辰 ;

李镕祐 ;

任志洙 ;

姜泂模 ;

韩丙勳 ;

李天揆 ;

堀口将人 .

韩国专利 :CN110323117B ,2024-06-21

[5]

等离子体处理装置 [P].

松村浩 .

中国专利 :CN1226740A ,1999-08-25

[6]

等离子体处理设备 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN120878527A ,2025-10-31

[7]

等离子体处理设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

安贤焕 ;

姜赞镐 ;

白晛祐 ;

黄荣周 .

中国专利 :CN1747132A ,2006-03-15

[8]

等离子体处理设备 [P].

赖展程 ;

杨金全 ;

李存福 .

中国专利 :CN118860029B ,2024-12-17

[9]

等离子体处理设备 [P].

张风港 .

中国专利 :CN101351076B ,2009-01-21

[10]

等离子体处理设备 [P].

田村一成 .

中国专利 :CN101500370A ,2009-08-05

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