一种板式PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620665486.5

申请日：

2016-06-29

公开(公告)号：

CN205790037U

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

袁中存党继东

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C23C1634 C23C16455

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;林波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	授权	授权
2018-07-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20160629 授权公告日:20161207 终止日期:20170629

共 50 条

[1]

一种板式PECVD设备 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

李栋 .

中国专利 :CN204982045U ,2016-01-20

[2]

一种板式PECVD设备 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394620U ,2020-09-01

[3]

用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备 [P].

白进谦 ;

郑伟 ;

赵阳 .

中国专利 :CN212128299U ,2020-12-11

[4]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

张标 ;

沈波涛 .

中国专利 :CN205420543U ,2016-08-03

[5]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

陈艺超 ;

郑旭然 ;

潘励刚 ;

姜大俊 ;

杨超 ;

罗本前 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206685356U ,2017-11-28

[6]

一种板式PECVD设备 [P].

龚俊 ;

魏唯 ;

周立平 .

中国专利 :CN112176325B ,2021-01-05

[7]

一种板式PECVD机台 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206591180U ,2017-10-27

[8]

一种板式PECVD的特气管路 [P].

王志勇 ;

田娜 ;

张大雨 ;

王春燕 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN204162784U ,2015-02-18

[9]

一种板式PECVD设备的承载加热结构 [P].

林锦山 ;

张超华 ;

谢志刚 .

中国专利 :CN218089792U ,2022-12-20

[10]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

何江 ;

郑猛 ;

章灵军 .

中国专利 :CN202359193U ,2012-08-01

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