用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020225042.6

申请日：

2020-02-28

公开(公告)号：

CN212128299U

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

白进谦郑伟赵阳

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街

IPC主分类号：

C23C16511

IPC分类号：

C23C1634

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

徐颖聪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种板式PECVD设备 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

李栋 .

中国专利 :CN204982045U ,2016-01-20

[2]

一种板式PECVD设备 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN205790037U ,2016-12-07

[3]

用于板式PECVD设备的特气管道 [P].

梅金丽 .

中国专利 :CN202226916U ,2012-05-23

[4]

一种板式PECVD设备 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394620U ,2020-09-01

[5]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

张标 ;

沈波涛 .

中国专利 :CN205420543U ,2016-08-03

[6]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

陈艺超 ;

郑旭然 ;

潘励刚 ;

姜大俊 ;

杨超 ;

罗本前 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206685356U ,2017-11-28

[7]

一种板式PECVD设备 [P].

龚俊 ;

魏唯 ;

周立平 .

中国专利 :CN112176325B ,2021-01-05

[8]

用于板式PECVD设备手动下料的工作台 [P].

肖扬鑫 .

中国专利 :CN202830163U ,2013-03-27

[9]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

何江 ;

郑猛 ;

章灵军 .

中国专利 :CN202359193U ,2012-08-01

[10]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

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