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一种金属掩膜板清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010338372.0
申请日：
2020-04-26
公开(公告)号：
CN111394739A
公开(公告)日：
2020-07-10
发明(设计)人：
杨卓
申请人：
申请人地址：
101312 北京市顺义区竺园三街6号（天竺综合保税区）
IPC主分类号：
C23G504
IPC分类号：
C23C1404
C23C1424
代理机构：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人：
陈亚英
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-10 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23G 5/04 申请日:20200426 |