共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种金属掩膜板清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010338372.0
申请日：
2020-04-26
公开(公告)号：
CN111394739B
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
杨卓
申请人：
北京七星华创集成电路装备有限公司
申请人地址：
101312 北京市顺义区竺园三街6号（天竺综合保税区）
IPC主分类号：
C23G5/04
IPC分类号：
C23C14/04
C23C14/24
代理机构：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人：
陈亚英
法律状态：
授权
国省代码：
天津市
市辖区
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 授权 | 授权 |