管式PECVD石墨舟工艺点上料装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610483918.5

申请日：

2016-06-27

公开(公告)号：

CN105957922A

公开(公告)日：

2016-09-21

发明(设计)人：

邹海军吴佳俊吴俊王少华

申请人：

申请人地址：

213213 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21677 H01L21673

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-21	公开	公开
2016-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101683315687 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2016104839185 申请日:20160627
2017-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07

[2]

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790035U ,2016-12-07

[3]

管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN105951060B ,2016-09-21

[4]

管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205856604U ,2017-01-04

[5]

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN105932112A ,2016-09-07

[6]

全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205856603U ,2017-01-04

[7]

全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN105951059B ,2016-09-21

[8]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[9]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[10]

管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243016U ,2015-04-01

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