一种从半导体清洗工艺的废酸中回收硫酸的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510721217.6

申请日：

2015-10-30

公开(公告)号：

CN105293449B

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

孙江燕施立琦

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

C01B1790

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

贾慧琴

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-03	公开	公开
2018-05-18	授权	授权
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649089480 IPC(主分类):C01B 17/90 专利申请号:2015107212176 申请日:20151030

共 50 条

[1]

一种从硝化废酸中回收硫酸的方法及装置 [P].

王明和 ;

郝新敏 ;

王春敏 .

中国专利 :CN107814362A ,2018-03-20

[2]

从硫酸法制备钛白粉的废酸中回收硫酸和硫酸盐的工艺 [P].

谭世语 ;

张红晶 ;

魏顺安 ;

董立春 ;

吕利平 ;

王攀 ;

陈红梅 ;

罗自萍 .

中国专利 :CN102079512A ,2011-06-01

[3]

从锗蒸馏废酸中回收铟的硫酸浸出方法 [P].

樊红杰 .

中国专利 :CN101403048A ,2009-04-08

[4]

半导体工艺中的清洗方法 [P].

蔡宗洵 .

中国专利 :CN102592965A ,2012-07-18

[5]

一种硫酸废酸的回收处理方法 [P].

陈琪 .

中国专利 :CN111573629B ,2020-08-25

[6]

一种从氟苯废酸中净化提纯硫酸的工艺方法 [P].

张莉 ;

丁瑶 ;

刘玉娟 .

中国专利 :CN102923675A ,2013-02-13

[7]

半导体清洗工艺的控制方法和半导体清洗设备 [P].

李文杰 .

中国专利 :CN112735980A ,2021-04-30

[8]

半导体清洗工艺的控制方法和半导体清洗设备 [P].

李文杰 .

中国专利 :CN112735980B ,2024-08-23

[9]

半导体硅片的清洗工艺腔及半导体硅片的清洗工艺 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN102243988B ,2011-11-16

[10]

分解硫酸铵的方法及从废酸及酸性废水中回收硫酸的方法 [P].

杨绍泉 ;

杨峰 .

中国专利 :CN101503203A ,2009-08-12

← 1 2 3 4 5 →