对准装置及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910922196.2

申请日：

2013-09-22

公开(公告)号：

CN110634786A

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

王坚金一诺王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

郭蔚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-31	公开	公开
2020-03-27	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/68 变更事项:申请人变更前:盛美半导体设备(上海)有限公司变更后:盛美半导体设备(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢变更后:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
2022-11-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/68 申请公布日:20191231
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20130922

共 50 条

[1]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104465472A ,2015-03-25

[2]

对准装置及对准方法 [P].

川越理史 ;

増市干雄 ;

上野博之 ;

上野美佳 ;

谷口和隆 ;

正司和大 ;

芝藤弥生 ;

田中哲夫 ;

陶山武史 .

中国专利 :CN107443883A ,2017-12-08

[3]

对准装置及对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119786419A ,2025-04-08

[4]

对准装置及对准方法 [P].

陈海霞 ;

孙思白 ;

谭信辉 .

中国专利 :CN118448324A ,2024-08-06

[5]

对准装置及对准方法 [P].

张波 ;

朱烨 ;

葛维暘 .

中国专利 :CN118559663A ,2024-08-30

[6]

对准装置及对准方法 [P].

邢奕飞 ;

孙建超 ;

高安 .

中国专利 :CN115729059B ,2025-10-10

[7]

对准装置及对准方法 [P].

陈海霞 ;

孙思白 ;

谭信辉 .

中国专利 :CN118448324B ,2025-06-06

[8]

基板对准装置及基板对准装置的控制方法 [P].

福岛崇行 .

中国专利 :CN105981155B ,2016-09-28

[9]

对准装置及对准方法 [P].

张波 ;

朱烨 ;

葛维暘 .

中国专利 :CN118559663B ,2024-10-29

[10]

一种对准装置及对准方法 [P].

张根连 ;

禹洪亮 ;

吴火亮 .

中国专利 :CN119230463A ,2024-12-31

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