对准装置及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410371274.5

申请日：

2024-03-27

公开(公告)号：

CN118448324B

公开(公告)日：

2025-06-06

发明(设计)人：

陈海霞孙思白谭信辉

申请人：

深圳稳顶聚芯技术有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道015号深港产学研基地W801

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

G03F7/20 G03F9/00 G06V10/22 H01L23/544

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

唐双

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-06	公开	公开
2024-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20240327
2025-06-06	授权	授权

共 50 条

[1]

对准装置及对准方法 [P].

陈海霞 ;

孙思白 ;

谭信辉 .

中国专利 :CN118448324A ,2024-08-06

[2]

对准装置及对准方法 [P].

川越理史 ;

増市干雄 ;

上野博之 ;

上野美佳 ;

谷口和隆 ;

正司和大 ;

芝藤弥生 ;

田中哲夫 ;

陶山武史 .

中国专利 :CN107443883A ,2017-12-08

[3]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104465472A ,2015-03-25

[4]

对准装置及对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119786419A ,2025-04-08

[5]

对准装置及对准方法 [P].

张波 ;

朱烨 ;

葛维暘 .

中国专利 :CN118559663A ,2024-08-30

[6]

对准装置及对准方法 [P].

邢奕飞 ;

孙建超 ;

高安 .

中国专利 :CN115729059B ,2025-10-10

[7]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN110634786A ,2019-12-31

[8]

对准装置及对准方法 [P].

张波 ;

朱烨 ;

葛维暘 .

中国专利 :CN118559663B ,2024-10-29

[9]

天线对准方法、天线对准装置及终端 [P].

杨万君 .

中国专利 :CN110336625A ,2019-10-15

[10]

光刻对准标记、制备方法、对准装置和对准方法 [P].

金浩 ;

席朝晖 ;

彭彬 .

中国专利 :CN121142927A ,2025-12-16

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