纳米压印设备及压印方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010862868.8

申请日：

2020-08-25

公开(公告)号：

CN111913349A

公开(公告)日：

2020-11-10

发明(设计)人：

冀然

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

山东重诺律师事务所 37228

代理人：

王鹏里

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20200825
2020-11-10	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

[2]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[3]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

黄雍伦 .

中国专利 :CN102241136B ,2011-11-16

[4]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[5]

一种负压式纳米压印设备及其压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN113075859A ,2021-07-06

[6]

一种负压式纳米压印设备及其压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN113075859B ,2024-01-26

[7]

一种纳米压印设备及压印方法 [P].

程晨 ;

彭彬 .

中国专利 :CN120669473A ,2025-09-19

[8]

一种纳米压印设备及压印方法 [P].

程晨 ;

彭彬 .

中国专利 :CN120669473B ,2025-10-21

[9]

压印设备及压印方法 [P].

简宏达 ;

许富强 ;

林焕宗 ;

苏方旋 ;

陈汉荣 .

中国专利 :CN103257524A ,2013-08-21

[10]

纳米压印方法及纳米压印装置 [P].

路彦辉 ;

谷新 ;

郭康 ;

刘震 ;

张笑 ;

谭伟 .

中国专利 :CN109116679A ,2019-01-01

← 1 2 3 4 5 →