纳米压印方法及纳米压印设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410869645.2

申请日：

2024-07-01

公开(公告)号：

CN118605081A

公开(公告)日：

2024-09-06

发明(设计)人：

陈程彭豪杰何郴华顾睿李海虹初守庆

申请人：

广东中图半导体科技股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

邱锴文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20240701
2024-09-06	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[2]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[3]

纳米压印设备及压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN111913349A ,2020-11-10

[4]

纳米压印方法及纳米压印装置 [P].

路彦辉 ;

谷新 ;

郭康 ;

刘震 ;

张笑 ;

谭伟 .

中国专利 :CN109116679A ,2019-01-01

[5]

一种纳米压印设备及压印方法 [P].

程晨 ;

彭彬 .

中国专利 :CN120669473A ,2025-09-19

[6]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

黄雍伦 .

中国专利 :CN102241136B ,2011-11-16

[7]

一种纳米压印设备及压印方法 [P].

程晨 ;

彭彬 .

中国专利 :CN120669473B ,2025-10-21

[8]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN109656097B ,2024-04-19

[9]

纳米压印方法及纳米压印辊 [P].

胡庆文 ;

朱海萍 ;

杨雨帆 ;

方道畅 ;

史瑞 ;

李晓军 .

中国专利 :CN118672056A ,2024-09-20

[10]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN109656097A ,2019-04-19

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