纳米压印装置，纳米压印方法，变形压印器件和变形压印方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280047790.8

申请日：

2012-09-11

公开(公告)号：

CN103843111A

公开(公告)日：

2014-06-04

发明(设计)人：

若松哲史服部昭子

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

B29C5902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王铁军

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101743798993 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2012800477908 申请公布日:20140604
2014-06-04	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587633408 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2012800477908 申请日:20120911

共 50 条

[1]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[2]

纳米压印方法及纳米压印装置 [P].

路彦辉 ;

谷新 ;

郭康 ;

刘震 ;

张笑 ;

谭伟 .

中国专利 :CN109116679A ,2019-01-01

[3]

纳米压印方法 [P].

朱振东 ;

李群庆 ;

张立辉 ;

陈墨 ;

金元浩 .

中国专利 :CN102279517A ,2011-12-14

[4]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

黄雍伦 .

中国专利 :CN102241136B ,2011-11-16

[5]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN109656097B ,2024-04-19

[6]

纳米压印装置及其压印方法 [P].

陈沁 .

中国专利 :CN103698975A ,2014-04-02

[7]

纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN109656097A ,2019-04-19

[8]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[9]

纳米压印方法及纳米压印辊 [P].

胡庆文 ;

朱海萍 ;

杨雨帆 ;

方道畅 ;

史瑞 ;

李晓军 .

中国专利 :CN118672056A ,2024-09-20

[10]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

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