干式真空泵装置和真空排气系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710586825.X

申请日：

2013-09-30

公开(公告)号：

CN107237752B

公开(公告)日：

2017-10-10

发明(设计)人：

岩崎弘一中泽敏治吉田真也大山敦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

F04C2302

IPC分类号：

F04C2502 F04C2808

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;李文屿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-10	公开	公开
2019-05-28	授权	授权
2017-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F04C 23/02 申请日:20130930

共 50 条

[1]

干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置 [P].

岩崎弘一 ;

中泽敏治 ;

吉田真也 ;

大山敦 .

中国专利 :CN103711697B ,2014-04-09

[2]

真空泵及真空排气系统 [P].

桦泽刚志 .

日本专利 :CN119343530A ,2025-01-21

[3]

真空阀、真空泵以及真空排气系统 [P].

中村雅哉 ;

小崎纯一郎 ;

中谷敦夫 ;

平田伸幸 .

中国专利 :CN108302213A ,2018-07-20

[4]

真空泵部件和干式真空泵 [P].

A.E.K.霍尔布鲁克 ;

I.S.格雷厄姆 ;

J.W.洛克 ;

B.C.墨菲 .

中国专利 :CN209604238U ,2019-11-08

[5]

干式真空泵控制装置 [P].

杨坤元 ;

朱英珍 ;

王怡逞 ;

林威志 ;

陈杏贞 ;

余建志 .

中国专利 :CN2893223Y ,2007-04-25

[6]

多级干式真空泵 [P].

内藤喜裕 .

中国专利 :CN2809273Y ,2006-08-23

[7]

干式真空泵 [P].

沈文武 ;

周忠贤 .

中国专利 :CN113417852A ,2021-09-21

[8]

干式真空泵 [P].

S·克罗谢 .

中国专利 :CN102312837B ,2012-01-11

[9]

干式真空泵 [P].

L·萨克森 ;

P·皮洛蒂 .

中国专利 :CN111902632A ,2020-11-06

[10]

干式真空泵 [P].

吉村将士 ;

高桥正明 ;

三户胜 .

中国专利 :CN1399074A ,2003-02-26

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