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真空泵及真空排气系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380042708.0
申请日：
2023-05-18
公开(公告)号：
CN119343530A
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
桦泽刚志
申请人：
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址：
日本千叶县
IPC主分类号：
F04D19/04
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
朱美红;任霄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-05-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):F04D 19/04申请日:20230518 |