一种硅片夹持平移机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720529528.7

申请日：

2017-05-13

公开(公告)号：

CN206976309U

公开(公告)日：

2018-02-06

发明(设计)人：

蔡燕

申请人：

申请人地址：

314500 浙江省嘉兴市桐乡市梧桐街道为民小区1幢4单元407室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21687 H01L2168

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20170513 授权公告日:20180206 终止日期:20180513
2018-02-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片夹持平移机构 [P].

蔡燕 .

中国专利 :CN107195575A ,2017-09-22

[2]

一种夹持平移装置 [P].

王国付 .

中国专利 :CN213568391U ,2021-06-29

[3]

一种铜管夹持平移装置 [P].

吕小军 .

中国专利 :CN207402527U ,2018-05-25

[4]

一种砖坯夹持平移装置 [P].

王明良 ;

熊大刚 ;

谭建中 .

中国专利 :CN222118165U ,2024-12-06

[5]

一种硅片加工平移装置 [P].

朱东 .

中国专利 :CN204264993U ,2015-04-15

[6]

一种硅片夹持机构 [P].

沈蓓丽 .

中国专利 :CN222063388U ,2024-11-26

[7]

一种硅片清洗夹持机构 [P].

李杰 ;

朱棣 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN210333667U ,2020-04-17

[8]

一种钻机模块液压夹持平移装置 [P].

石会立 ;

张泽 ;

李明 .

中国专利 :CN204152446U ,2015-02-11

[9]

一种硅片平移放置机构 [P].

屠明州 .

中国专利 :CN106206398A ,2016-12-07

[10]

一种硅片夹持机构 [P].

陈春芙 ;

苏金财 .

中国专利 :CN222916525U ,2025-05-27

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