掩模板热效应补偿的补偿装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821254256.5

申请日：

2018-08-06

公开(公告)号：

CN208689362U

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F100

代理机构：

上海市锦天城律师事务所 31273

代理人：

何金花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

掩模板热效应补偿的方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110865514A ,2020-03-06

[2]

激光器热效应补偿系统 [P].

刘嘉 ;

黄见洪 ;

戴殊韬 ;

郑晖 ;

李锦辉 ;

史斐 ;

翁文 ;

葛燕 ;

邓晶 ;

阮开明 ;

林文雄 .

中国专利 :CN102280800A ,2011-12-14

[3]

一种热效应补偿光学成像装置 [P].

李兵涛 ;

唐晖 ;

李明之 ;

吴高达 .

中国专利 :CN222866899U ,2025-05-13

[4]

热效应自补偿装置与其补偿方法 [P].

黄荣山 ;

辜煜夫 ;

颜毅广 ;

关恕 ;

吴光钟 ;

林世明 ;

林品延 .

中国专利 :CN102135515A ,2011-07-27

[5]

一种镜头的热效应补偿装置和方法 [P].

储兆祥 ;

黄玲 ;

武珩 ;

朱立荣 .

中国专利 :CN101201547A ,2008-06-18

[6]

幅度调制效应补偿装置 [P].

廖波 ;

李学春 .

中国专利 :CN2906679Y ,2007-05-30

[7]

幅度调制效应补偿装置 [P].

廖波 ;

李学春 .

中国专利 :CN1844993A ,2006-10-11

[8]

补偿透镜热效应的方法 [P].

许健 ;

张建峰 ;

张书庆 .

中国专利 :CN109752926A ,2019-05-14

[9]

对端面泵浦进行热效应补偿的激光装置和产生激光的方法 [P].

宋艳洁 ;

朱铎 ;

薄勇 ;

郎炳天 .

中国专利 :CN119834043B ,2025-10-10

[10]

基于多物理场耦合的射频芯片热效应补偿系统及其方法 [P].

刘潇涵 ;

冯友兵 .

中国专利 :CN120631150A ,2025-09-12

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