热效应自补偿装置与其补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010106402.1

申请日：

2010-01-26

公开(公告)号：

CN102135515A

公开(公告)日：

2011-07-27

发明(设计)人：

黄荣山辜煜夫颜毅广关恕吴光钟林世明林品延

申请人：

申请人地址：

中国台湾台北市

IPC主分类号：

G01N2704

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101104510513 IPC(主分类):G01N 27/04 专利申请号:2010101064021 申请日:20100126
2011-07-27	公开	公开
2015-02-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101710555515 IPC(主分类):G01N 27/04 专利申请号:2010101064021 申请公布日:20110727

共 50 条

[1]

掩模板热效应补偿的补偿装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208689362U ,2019-04-02

[2]

掩模板热效应补偿的方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110865514A ,2020-03-06

[3]

优化光刻设备中工件台热效应的温度补偿装置 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN111856891A ,2020-10-30

[4]

固体激光器热效应自动补偿装置 [P].

吴先友 ;

王礼 ;

李哲 ;

蔡旭武 ;

杨经纬 ;

江海河 .

中国专利 :CN102610983A ,2012-07-25

[5]

显示面板的补偿方法、补偿装置及补偿系统 [P].

关彦涛 ;

孙琳 ;

窦晓宇 ;

赵栋 ;

冯士振 ;

刘明星 .

中国专利 :CN112908260B ,2021-06-04

[6]

温度补偿方法及温度补偿装置 [P].

邴晨阳 ;

常杰 ;

徐顺 ;

高月欣 ;

郑启亮 ;

邱文杰 ;

李伟 .

中国专利 :CN107462428A ,2017-12-12

[7]

掩模版弯曲补偿装置、检测补偿系统及补偿方法 [P].

王健 .

中国专利 :CN107329374A ,2017-11-07

[8]

显示设备颜色亮度补偿方法、补偿装置及补偿系统 [P].

刘文军 ;

许广 .

中国专利 :CN101640038A ,2010-02-03

[9]

变焦镜头与其温度补偿方法 [P].

鲍昭汉 .

中国专利 :CN102375224A ,2012-03-14

[10]

幅度调制效应补偿装置 [P].

廖波 ;

李学春 .

中国专利 :CN1844993A ,2006-10-11

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