基板装卸载单元及基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410174214.0

申请日：

2014-04-28

公开(公告)号：

CN103928379B

公开(公告)日：

2014-07-16

发明(设计)人：

张建柱

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陈慧弘

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-16	公开	公开
2017-10-27	授权	授权
2018-02-16	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人变更前:北京七星华创电子股份有限公司变更后:北方华创科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2018-02-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20180130 变更事项:专利权人变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号
2014-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584398127 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2014101742140 申请日:20140428

共 50 条

[1]

基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块 [P].

朴海允 .

中国专利 :CN102117732A ,2011-07-06

[2]

基板处理系统 [P].

羽岛仁志 ;

松冈伸明 ;

中岛常长 ;

安武孝洋 ;

船越秀朗 ;

中村泰之 .

中国专利 :CN110313060A ,2019-10-08

[3]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

武明励 ;

太田乔 .

中国专利 :CN113491000A ,2021-10-08

[4]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

丸本洋 ;

河野央 ;

清濑浩巳 ;

中森光则 ;

光冈一行 .

中国专利 :CN106920743B ,2017-07-04

[5]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

[6]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 .

日本专利 :CN118160071A ,2024-06-07

[7]

基板处理系统及基板处理方法 [P].

藤田直人 .

日本专利 :CN120497157A ,2025-08-15

[8]

基板处理系统及基板处理方法 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101447408A ,2009-06-03

[9]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

小野健太 ;

藤本势二 ;

冈田聪一郎 ;

原亚梨沙 ;

阪上琢也 ;

中根由太 ;

熊仓翔 ;

西冢哲也 ;

本田昌伸 .

日本专利 :CN120530478A ,2025-08-22

[10]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

武明励 ;

太田乔 .

日本专利 :CN113491000B ,2024-09-24

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