基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010560301.1

申请日：

2010-11-18

公开(公告)号：

CN102117732A

公开(公告)日：

2011-07-06

发明(设计)人：

朴海允

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21683 H01L21677

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

瞿卫军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-06	公开	公开
2016-08-17	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737228437 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010105603011 登记生效日:20160725 变更事项:专利权人变更前权利人:圆益控股股份有限公司变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞) 变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2012-03-07	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101292525433 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010105603011 变更事项:申请人变更前:IPS株式会社变更后:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道
2013-08-28	授权	授权
2016-08-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737228436 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010105603011 变更事项:专利权人变更前:圆益IPS股份有限公司变更后:圆益控股股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞)
2011-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101098310295 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010105603011 申请日:20101118

共 50 条

[1]

基板装卸载单元及基板处理系统 [P].

张建柱 .

中国专利 :CN103928379B ,2014-07-16

[2]

基板处理模块及模块化基板处理系统 [P].

爱德华·戈卢博夫斯基 ;

萨卡塔·克林顿 ;

贾甘·兰加拉詹 ;

叶卡捷琳娜·米哈伊利琴科 ;

史蒂文·M·苏尼加 .

中国专利 :CN216849889U ,2022-06-28

[3]

基板处理系统、用于基板处理系统的真空旋转模块以及用于操作基板处理系统的方法 [P].

T·伯格 ;

R·林德伯格 .

中国专利 :CN106165081A ,2016-11-23

[4]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

[5]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 .

日本专利 :CN118160071A ,2024-06-07

[6]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

武明励 ;

太田乔 .

中国专利 :CN113491000A ,2021-10-08

[7]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

丸本洋 ;

河野央 ;

清濑浩巳 ;

中森光则 ;

光冈一行 .

中国专利 :CN106920743B ,2017-07-04

[8]

基板处理系统及基板处理方法 [P].

藤田直人 .

日本专利 :CN120497157A ,2025-08-15

[9]

基板处理系统及基板处理方法 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101447408A ,2009-06-03

[10]

基板处理方法及基板处理系统 [P].

小野健太 ;

藤本势二 ;

冈田聪一郎 ;

原亚梨沙 ;

阪上琢也 ;

中根由太 ;

熊仓翔 ;

西冢哲也 ;

本田昌伸 .

日本专利 :CN120530478A ,2025-08-22

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