共 50 条
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111090805.6
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN113745142A
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
吴功
倪萌
李壮
申请人：
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
王瑞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20210917 |
| 2021-12-03 | 公开 | 公开 |