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一种立柜式晶圆盒开盒设备

被引：0
申请号：
CN202220916274.5
申请日：
2022-04-20
公开(公告)号：
CN217086546U
公开(公告)日：
2022-07-29
发明(设计)人：
陈曙光 林坚 王彭
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
李晓峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-29 授权 授权
共 50 条
[1]
一种小型晶圆盒开盒设备 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217114344U ,2022-08-02
[2]
一种晶圆盒开盒机构 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217114345U ,2022-08-02
[3]
一种晶圆盒自动开盒送料装置 [P]. 
张凯 .
中国专利 :CN213601849U ,2021-07-02
[4]
一种晶圆盒用开盒机构及晶圆传输机 [P]. 
李宁宁 ;
杨森元 ;
郝瀚 .
中国专利 :CN222851408U ,2025-05-09
[5]
一种晶圆盒开盖设备 [P]. 
任潮群 ;
崔建敏 ;
韦国强 ;
陈泳 ;
杨冬野 .
中国专利 :CN117476525A ,2024-01-30
[6]
一种晶圆盒开盖设备 [P]. 
任潮群 ;
崔建敏 ;
韦国强 ;
陈泳 ;
杨冬野 .
中国专利 :CN117476525B ,2024-03-12
[7]
一种晶圆盒开盒器的锁紧机构 [P]. 
季滔 ;
顾俊 ;
申勇 .
中国专利 :CN222507610U ,2025-02-18
[8]
一种晶圆盒开盒器的移动平台 [P]. 
季滔 ;
顾俊 ;
申勇 .
中国专利 :CN222530393U ,2025-02-25
[9]
一种晶圆盒自动开盒送料装置 [P]. 
张凯 .
中国专利 :CN112599461A ,2021-04-02
[10]
一种晶圆盒开盒器的晶圆状态检测系统 [P]. 
申勇 ;
季滔 ;
顾俊 .
中国专利 :CN223052103U ,2025-07-01
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