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一种晶圆盒自动开盒送料装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120073755.X
申请日：
2021-01-12
公开(公告)号：
CN213601849U
公开(公告)日：
2021-07-02
发明(设计)人：
张凯
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市塘厦镇四村高科工业二路4号2号楼202室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
东莞技创百科知识产权代理事务所(普通合伙) 44608
代理人：
邱凯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 授权 | 授权 |