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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-01-05 | 授权 | 授权 |
| 2020-07-03 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20100608 授权公告日:20110105 |
| 2012-06-13 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101376927265 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL2010202190309 变更事项:专利权人 变更前:湘潭宏大真空设备有限公司 变更后:湘潭宏大真空技术股份有限公司 变更事项:地址 变更前:411100 湖南省湘潭市九华工业园盛世路8号 变更后:411100 湖南省湘潭市九华工业园盛世路8号 |