便于调节间距的半导体沉积结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220602729.2

申请日：

2012-11-15

公开(公告)号：

CN202954088U

公开(公告)日：

2013-05-29

发明(设计)人：

许亮

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-29	授权	授权
2019-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20121115 授权公告日:20130529 终止日期:20181115

共 50 条

[1]

便于调节间距的牵引装置 [P].

李宗行 .

中国专利 :CN222221017U ,2024-12-24

[2]

一种便于调节间距的联轴器 [P].

焦俊 .

中国专利 :CN213575232U ,2021-06-29

[3]

一种便于调节间距的联轴器 [P].

唐征歧 ;

施岐璘 ;

诸浩君 ;

沈春云 ;

王毅 .

中国专利 :CN210371726U ,2020-04-21

[4]

便于调节间距的起跑器 [P].

柳东虹 .

中国专利 :CN204973094U ,2016-01-20

[5]

一种便于调节间距的织带限位结构 [P].

王勤 ;

陈进 .

中国专利 :CN213538275U ,2021-06-25

[6]

一种便于调节间距的联轴器 [P].

焦俊 .

中国专利 :CN112253640A ,2021-01-22

[7]

一种便于调节间距的双杠 [P].

寿伟杰 ;

袁佳 .

中国专利 :CN216169618U ,2022-04-05

[8]

一种便于调节间距的格栅 [P].

蔡红 .

中国专利 :CN210291391U ,2020-04-10

[9]

一种便于清洁的半导体沉积设备结构 [P].

许亮 .

中国专利 :CN202772119U ,2013-03-06

[10]

一种便于调节间距的货架 [P].

徐兆铿 .

中国专利 :CN210471704U ,2020-05-08

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