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一种便于清洁的半导体沉积设备结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220437873.5
申请日：
2012-08-30
公开(公告)号：
CN202772119U
公开(公告)日：
2013-03-06
发明(设计)人：
许亮
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所 31219
代理人：
李仪萍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-03-06 | 授权 | 授权 |
| 2019-08-16 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20120830 授权公告日:20130306 终止日期:20180830 |