一种便于清洁的半导体

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申请号
CN202221368983.0
申请日
2022-06-02
公开(公告)号
CN217342441U
公开(公告)日
2022-09-02
发明(设计)人
王立祥 阮同琴
申请人
申请人地址
225600 江苏省扬州市高邮市郭集镇工业集中区
IPC主分类号
B08B100
IPC分类号
B08B502 H01L2167
代理机构
淮安欧巴知识产权代理事务所(普通合伙) 32628
代理人
安琼新
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种便于清洁的半导体 [P]. 
陈金松 .
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[2]
一种半导体设备的清洁装置 [P]. 
杨勇 ;
杨洪涛 .
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[3]
一种便于清洁的半导体制造设备 [P]. 
张志平 .
中国专利 :CN210668296U ,2020-06-02
[4]
一种便于清洁的半导体沉积设备结构 [P]. 
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[5]
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[6]
半导体设备的清洁装置和半导体设备系统 [P]. 
宋宏浩 ;
李勇刚 ;
石春来 ;
王高杰 ;
李璟轩 .
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[7]
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[8]
一种便于调节的半导体清洗装置 [P]. 
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[9]
一种便于调节的半导体清洗装置 [P]. 
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[10]
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