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一种便于清洁的半导体
被引:0
申请号
:
CN202221368983.0
申请日
:
2022-06-02
公开(公告)号
:
CN217342441U
公开(公告)日
:
2022-09-02
发明(设计)人
:
王立祥
阮同琴
申请人
:
申请人地址
:
225600 江苏省扬州市高邮市郭集镇工业集中区
IPC主分类号
:
B08B100
IPC分类号
:
B08B502
H01L2167
代理机构
:
淮安欧巴知识产权代理事务所(普通合伙) 32628
代理人
:
安琼新
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-09-02
授权
授权
共 50 条
[1]
一种便于清洁的半导体
[P].
陈金松
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈金松
.
中国专利
:CN213931880U
,2021-08-10
[2]
一种半导体设备的清洁装置
[P].
杨勇
论文数:
0
引用数:
0
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0
杨勇
;
杨洪涛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
杨洪涛
.
中国专利
:CN214555642U
,2021-11-02
[3]
一种便于清洁的半导体制造设备
[P].
张志平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张志平
.
中国专利
:CN210668296U
,2020-06-02
[4]
一种便于清洁的半导体沉积设备结构
[P].
许亮
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
许亮
.
中国专利
:CN202772119U
,2013-03-06
[5]
一种便于清洁的半导体封装设备
[P].
北原晃大朗
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
北原晃大朗
.
中国专利
:CN214982523U
,2021-12-03
[6]
半导体设备的清洁装置和半导体设备系统
[P].
宋宏浩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
宋宏浩
;
李勇刚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
李勇刚
;
石春来
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
石春来
;
王高杰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
王高杰
;
李璟轩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
李璟轩
.
中国专利
:CN223264464U
,2025-08-26
[7]
一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具
[P].
李岩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李岩
.
中国专利
:CN213106421U
,2021-05-04
[8]
一种便于调节的半导体清洗装置
[P].
颜军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
无锡市安晏克半导体有限公司
无锡市安晏克半导体有限公司
颜军
.
中国专利
:CN223083386U
,2025-07-11
[9]
一种便于调节的半导体清洗装置
[P].
施超
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
施超
.
中国专利
:CN215299187U
,2021-12-24
[10]
一种清洁率高的半导体刻蚀设备
[P].
王凡
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王凡
.
中国专利
:CN216928484U
,2022-07-08
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