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一种半导体设备的清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022972896.3
申请日：
2020-12-11
公开(公告)号：
CN214555642U
公开(公告)日：
2021-11-02
发明(设计)人：
杨勇
杨洪涛
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B100
B08B1300
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
林凡燕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-02 | 授权 | 授权 |