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预清洁装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421559353.0
申请日：
2024-07-03
公开(公告)号：
CN223066119U
公开(公告)日：
2025-07-04
发明(设计)人：
丁瑜
邢超
李兵
王伟
申请人：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址：
266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/311
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
朱笑宇
法律状态：
授权
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-04 | 授权 | 授权 |