半导体清洁装置及半导体生产设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422277701.1

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223603045U

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

李万杨昌伟林泽阳

申请人：

深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司

申请人地址：

518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101

IPC主分类号：

B08B9/032

IPC分类号：

B08B13/00 H01L21/683

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

张文超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-28	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体生产设备及半导体工艺方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109750274A ,2019-05-14

[2]

半导体生产设备 [P].

吴彩庭 ;

刘欣 ;

罗骞 ;

毛朝斌 ;

孔倩茵 .

中国专利 :CN307108341S ,2022-02-11

[3]

半导体生产设备 [P].

邱岳金 .

中国专利 :CN113921454A ,2022-01-11

[4]

半导体生产设备 [P].

吴彩庭 ;

毛朝斌 ;

伍三忠 ;

孔倩茵 ;

程远贵 .

中国专利 :CN309188781S ,2025-03-21

[5]

半导体生产设备用插板阀及半导体生产设备 [P].

邵佳 ;

李欢 .

中国专利 :CN119289116A ,2025-01-10

[6]

半导体生产设备用插板阀及半导体生产设备 [P].

邵佳 ;

李欢 .

中国专利 :CN119289115A ,2025-01-10

[7]

半导体清洁装置及半导体清洁方法 [P].

冈田章 ;

野口贵也 ;

秋山肇 .

中国专利 :CN103157625A ,2013-06-19

[8]

托盘装置及半导体生产设备 [P].

潘辉 ;

伍术 ;

钟敏 ;

史田超 ;

彭强 ;

罗成志 ;

于伟 ;

邓辉 ;

陈凯 ;

邹佳欣 ;

文龙芳 ;

刘小平 ;

石建威 ;

仇成功 .

中国专利 :CN222878158U ,2025-05-16

[9]

传送装置及半导体生产设备 [P].

梁学玉 .

中国专利 :CN114446844A ,2022-05-06

[10]

半导体设备的清洁装置和半导体设备系统 [P].

宋宏浩 ;

李勇刚 ;

石春来 ;

王高杰 ;

李璟轩 .

中国专利 :CN223264464U ,2025-08-26

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