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半导体生产设备及半导体工艺方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201711055985.8
申请日：
2017-11-01
公开(公告)号：
CN109750274A
公开(公告)日：
2019-05-14
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-14 | 公开 | 公开 |
| 2019-06-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20171101 |
| 2021-10-22 | 授权 | 授权 |