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等离子体装置用电极板
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201230618509.4
申请日：
2012-12-11
公开(公告)号：
CN302469904S
公开(公告)日：
2013-06-12
发明(设计)人：
殿原浩二
高桥伸辅
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
2401
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
张文达
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-06-12 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-27 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 主分类号:24-01 申请日:20121211 授权公告日:20130612 |