等离子体处理装置用电极板及等离子体处理装置用电极板的再生方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880011409.X

申请日：

2018-02-14

公开(公告)号：

CN110291225B

公开(公告)日：

2019-09-27

发明(设计)人：

野村聪藤森周司

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1642

IPC分类号：

C04B4187 H01L213065 H01L2131

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

刁兴利;康泉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/42 申请日:20180214
2021-10-26	授权	授权
2019-09-27	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理用电极板 [P].

小泽祐治 .

中国专利 :CN301161827D ,2010-03-24

[2]

等离子体处理用电极板 [P].

小泽祐治 .

中国专利 :CN301044492D ,2009-10-21

[3]

等离子体处理用电极板 [P].

铃木笃 .

中国专利 :CN301161826D ,2010-03-24

[4]

等离子体处理用电极板 [P].

出口新悟 .

中国专利 :CN301083964D ,2009-12-16

[5]

等离子体处理用电极板 [P].

出口新悟 .

中国专利 :CN301048838D ,2009-10-28

[6]

等离子体处理用电极板 [P].

出口新悟 .

中国专利 :CN301044493D ,2009-10-21

[7]

等离子体处理装置用电极及等离子体处理装置 [P].

松岛圭一 ;

铃木隆司 ;

古家元 .

中国专利 :CN1643666A ,2005-07-20

[8]

等离子体发生用电极和等离子体处理装置 [P].

林大辅 .

中国专利 :CN101005727A ,2007-07-25

[9]

等离子体装置用电极板 [P].

殿原浩二 ;

高桥伸辅 .

中国专利 :CN302469904S ,2013-06-12

[10]

等离子体装置用电极板 [P].

殿原浩二 ;

高桥伸辅 .

中国专利 :CN302281081S ,2013-01-09

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