光刻机刀口组、大视场光刻机和曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610378442.9

申请日：

2016-05-31

公开(公告)号：

CN107450271A

公开(公告)日：

2017-12-08

发明(设计)人：

王斌杨晓峰夏洪发

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-08	公开	公开
2018-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160531
2019-10-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机曝光方法 [P].

黄玮 .

中国专利 :CN102540731B ,2012-07-04

[2]

控制直写光刻机曝光的方法、装置和光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN111367147B ,2020-07-03

[3]

光刻机扫描曝光方法 [P].

张俊 .

中国专利 :CN101487988A ,2009-07-22

[4]

光刻机及其扫描曝光方法 [P].

伍强 ;

郝静安 ;

刘畅 ;

姚欣 ;

李天慧 ;

舒强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN103186055B ,2013-07-03

[5]

大视场投影物镜及光刻机 [P].

安福平 ;

储兆祥 .

中国专利 :CN115524927A ,2022-12-27

[6]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[7]

郭耸 ;

徐程 .

中国专利 :CN302441447S ,2013-05-22

[8]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[9]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[10]

张宾 .

中国专利 :CN218350710U ,2023-01-20

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